上海洁净起重机

晶圆搬运洁净起重机是半导体及其他高精度行业的核心物流设备。其在运行过程中严格控制微粒污染、振动与静电，确保晶圆搬运环节的洁净与安全。该设备适配高洁净度生产场景，可实现自动化精准转运，为半导体制造全流程提供稳定可靠的物流支撑，是高精度产业中的关键装备。

一、特性介绍

1、核心目标：实现晶圆在洁净室环境下的无污染、低振动、高精度搬运，保障晶圆品质稳定性。

2、无尘设计：从源头杜绝设备运行过程中产生的微粒污染，适配高洁净度生产要求。

3、精准防振：采用伺服控制系统与自适应减振算法，将运行振动幅度控制在微米级乃至更高标准，有效避免振动对精密晶圆造成损伤。

4、防静电保护：对起重机组件进行防静电处理（如喷涂防静电涂层），确保接地电阻符合行业标准，杜绝静电吸附微尘或击穿电路的风险。

二、应用场景

1、机台间搬运：将 FOUP 从一台工艺设备，如刻蚀机，运送到下一台需要加工的设备，如薄膜沉积设备，实现晶圆在不同工艺设备间的流转。

2、与存储系统对接：将 FOUP 从工艺设备运送到中央存储库进行中间暂存，或从存储库中取出指定 FOUP 送往机台，确保晶圆的合理存储和及时取用。

3、与生产线首尾对接：在生产线起点接收来自晶圆入库区的 FOUP，在终点将完成所有工艺的晶圆 FOUP 送出厂区，贯穿晶圆在工厂内的全流程搬运。

三、如何选择适合的洁净起重机

1、明确洁净度等级：首先需要根据您生产的芯片制程节点，确定洁净室所需的标准（如ISO Class 100或更严格）。不同等级对应不同的设备配置和成本。

2、评估精度与防振要求：针对不同的工艺环节（如光刻、CMP），对搬运的定位精度和抗微振动能力有不同要求，需匹配相应的驱动和控制技术。

3、考量扩展性与合规性：设备应具备一定的模块化定制能力以适应未来产线变化，并确保其符合SEMI、CE等必要的行业与国际安全标准。

总结

晶圆搬运洁净起重机已从简单的搬运工具，演进为保障半导体制造“零缺陷”生产的关键智能节点。在选择时，核心是让设备的技术指标与您实际的工艺要求、洁净度标准及未来智能化规划匹配。