作为半导体制造的核心区域，光刻车间对洁净度、防污染及设备稳定性有着极高的要求。不锈钢航吊凭借其耐腐蚀、低发尘、易清洁的特性，已成为光刻车间等高标准洁净环境的理想选择。
一、光刻车间对航吊的核心要求
1、洁净度保障
无尘污染：航吊材质需避免产生颗粒脱落，不锈钢表面光洁度高（如镜面或拉丝处理），配合抛光工艺可减少微粒附着，满足百级/千级洁净车间标准。
抗腐蚀性：需耐受光刻胶、显影液等化学溶剂，316L不锈钢因含钼元素（Mo），耐酸碱腐蚀性优于304不锈钢，适用于高腐蚀环境。
2、防静电与低磁性
不锈钢航吊需接地处理以防止静电吸附尘埃，同时低磁性（如奥氏体不锈钢）避免干扰精密仪器。
3、结构紧凑与灵活性
安装在厂房上面，节省空间且减少对层流气流的干扰，适配光刻设备密集布局。
二、选型与安装建议
1、定制化需求
根据光刻机布局设计航吊覆盖半径（通常5-10米），载荷按最大晶圆搬运重量（如1-2吨）的1.5倍预留。
2、安装与维护
洁净施工：安装时需在车间封闭前完成，避免后期粉尘污染。
定期维护：每月清洁表面并使用无残留溶剂（如异丙醇）消毒，每年检测结构完整性。
光刻车间使用的不锈钢起重机需满足高洁净度、耐腐蚀、防静电、高精度及自动化等核心要求。其通过创新技术（如微尘控制、智能物联）和模块化设计，有效解决洁净与效率的双重挑战，是半导体制造领域的理想选择。
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