在 LED 芯片的制造过程中,生产环境的洁净度至关重要。专用的洁净起重机凭借独特的设计与技术,在搬运过程中将粉尘、微粒、静电及化学污染降至最低,确保生产环境的洁净度达到严苛的标准要求。
一、核心洁净技术
1、低发尘材料:主要结构(如主梁、端梁)采用不锈钢或特殊镀层材质,避免金属氧化脱落产生微粒。
2、全密封设计:轨道车轮配备防尘罩,齿轮箱、电机等传动部件采用全密封技术,并使用无尘润滑脂,杜绝油脂泄漏和颗粒物侵入。
3、静电控制:配备静电消除装置(如导电轮、静电导出链条),防止静电吸附灰尘污染产品。

二、性能与控制
1、平稳精准运行:搭载变频驱动和伺服控制技术,实现软启动、软停止和精确定位(±1mm),避免晃动和气流扰动。
2、智能防晃与减震:通过智能算法控制加速度,有效抑制吊运过程中的晃动,保护易损的LED芯片材料。
三、定制化设计
1、形式多样:可根据车间布局和需求选择洁净单梁起重机、洁净双梁起重机、洁净门式起重机等。
2、负载与跨度灵活:起重量范围宽(如0.5T至80T),跨度可根据厂房实际定制(如3M至30M)。
3、专用吊具:可适配搬运晶圆盒、特殊载具的专用吊具,避免交叉污染。
四、应用领域
用于晶圆、芯片在生产工序间的搬运。这是最核心的应用领域,任何微尘都可能导致产品报废,因此对起重机的洁净等级(如千级、百级)要求极高。
总结
电子半导体洁净起重机是半导体制造中不可替代的关键设备,其设计需深度融合洁净技术、精密控制及智能集成,在保障超净环境的同时实现高效、安全的物料搬运。

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