双钩洁净室起重机作为半导体车间高效物料搬运的核心设备,以双钩葫芦的创新设计重构了精密制造场景下的物流逻辑,成为现代晶圆厂与半导体设施中不可或缺的关键装备。
一、结构特性
1、洁净等级与防污染设计
密封结构:采用定制洁净电动葫芦(防护等级IP65),驱动结构完全密封,表面光滑易清洁,杜绝润滑油泄漏风险。
材料选型:关键部件如起升链条、车轮均使用不锈钢,连接点采用高强度不锈钢螺栓,从源头减少污染。
2、双钩设计的稳定性优势
平衡悬挂:双钩可插入物品两端,实现大型或不规则物体的平衡吊装,减少晃动,提升操作安全性。
高效承载:相比单钩起重机(通常承载≤1吨),双钩设计支持更大吨位吊装,满足半导体设备(如光刻机、蚀刻机)的精密部件搬运需求。
3、风琴罩
可有效保护不锈钢吊钩,通过隔绝外界湿气、腐蚀性物质等,全方位避免吊钩出现锈蚀问题,延长其使用寿命。
4、十字限位器
主梁设置双十字限位器,其一实现减速缓冲功能,另一具备急停保护作用,双重机制保障设备运行安全。
洁净室双钩起重机
二、典型应用场景
1、晶圆与多晶硅搬运
用于晶圆生产线的上下料、多晶硅锭的吊装,双钩结构可同步搬运多个载具,提升产线连续性。
2、设备维护与清洁
在设备检修或车间清洁时,双钩起重机可快速吊装工具、更换机台部件,减少人工干预带来的污染风险。
3、高负载精密作业
适配半导体车间中大型设备(如光刻机、刻蚀机)的安装与维护,双梁结构增强承载能力,同时确保高空作业的稳定性。
三、总结
洁净室双钩行车通过其防污染设计、稳定性能和高效运作,已成为半导体制造中不可或缺的关键设备。其双钩结构不仅提升了搬运效率与安全性,更通过与洁净室环境的深度适配,为芯片制造提供了“零干扰”的物料搬运解决方案,助力半导体产业向更精密、更高效的方向发展。